表示件数

石川県の研究室一覧

[1件中 1 - 1件表示]

金沢大学
薄膜電子工学研究室
近接場光学

住所 石川県 金沢市 角間町
研究内容
プラズマ支援化学気相堆積法(PECVD法) および高周波スパッタリング法により作製したシリコン(Si)系薄膜に関する研究を行っています。低環境負荷の薄膜発光材料であるSiナノ結晶分散薄膜について,その高品質化,物性制御,新機能発現に関して基礎と応用の両面から研究し,電子素子および光素子への応用を目指しています。